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al / NEC Corporation]

報道関係各位                      平成7年1月12日
                            日本電気株式会社

高性能なグリーンシート加工機の発売について


グリーンシート加工機 LM611A の写真

NECはこのたび、グリーンシートの加工を行う専用のYAGレーザ加工機を製品化し 「グリーンシート加工機 LM611A」の名称で本日から発売いたしました。出荷時期 としては、受注後約3ケ月を予定しております。

新製品は、グリーンシートのスクライブ加工(注1) スルーホール加工(注2)等を行う装置であり、

  1. 特殊結像光学系を採用しているため、微細な加工が可能であること
  2. 高出力レーザと、加工位置を最適にしかも高速に制御するXYステージ(注3)を搭載しているため高スループットを得られること
  3. レーザ出力の自動測定、 フィードバック制御(注4)により長期間にわたり安定した加工が可能であること
  4. メニュー方式で簡単に加工データの作成ができ、加工品種の変更も容易であること
などが主な特長となっております。

新製品の販売価格は標準システム構成(レーザ装置部、結像光学系部、XYステージ部、システム制御部)で3,600万円(消費税別)となっており、販売台数としては、年間20台を予定しております。

グリーンシートとは、基板上に積層型電子部品の材料を10μm〜500μmの厚さで塗布したものであります。従来グリーンシートの加工には、パンチによる抜き穴加工が主流となっておりましたが、最近の電子部品の小型化、品種の多様化によって、穴径100μmを下回るような高品質微細加工の需要が増大しており、さらに高速性、および品種変更の容易さなども求められております。新製品は、NECの持つレーザによる精密加工技術、メカトロ技術を駆使することにより、このようなニーズに応えて製品化されたものであります。

              <新製品の主な特長>
  1. 微細加工
    4分割光学系(※注5) および テレセントリック光学系(※注6) の構造を持つ 特殊結像光学系(※注7)を採用しているため、微細な加工が可能。

    (注5)4分割光学系:
    4組(1組=2個)のプリズムにより1本のレーザビームを均一な強度分布を持つ4個のビームに分割する光学系。

    (注6)テレセントリック光学系:
    対物レンズの前焦点で一度レーザビームを集光し、対物レンズを通過したレーザビームが平行光になる(主ビームのみ)ように構成した光学系。加工面の上下方向の位置ずれに対する許容範囲が広くなるのが特長。

    (注7)特殊結像光学系:
    1/10の縮小倍率、4分割光学系、テレセントリック光学系などを合わせ持つ光学系のこと。

  2. 高速加工
    高出力レーザと、加工位置を最適に制御する高速のACサーボモータ駆動XYステージの採用により高スループットを実現。

  3. 安定加工
    レーザ出力の自動測定機能、およびフィードバック制御により長期間にわたって安定加工が可能。

  4. 加工品種の変更が容易
    加工形状の変更を伴う品種変更は、分割ユニットと加工データの変更のみで可能なため、低コストでフレキシブルな対応が可能。

  5. 加工データ作成が容易
    メニュー方式のデータ作成プログラムにより、加工データの作成が容易。

なお、NECでは新製品を、1月18日から21日まで幕張メッセにて開催される「インターネプコン・ジャパン’95」に出展する予定であります。

新製品の主な仕様は、別紙をご参照下さい。

                                  以上

<語句の説明>

(注1)スクライブ加工
基板を切断するための溝(基板の厚さの1/2から1/3程度の深さ)を加工すること。基板上から見るとミシン目のように見える加工と1本の線のように見える加工がある。

(注2)スルーホール加工
基板に任意の形状の穴を加工すること。深さは基板の厚さと同じ。

(注3)XYステージ
ボールネジとリニアガイドで構成した2軸のテーブルをモータで駆動し、指定の位置(XY方向)に基板を移動するためのもの。精度を向上するためリニアスケールを搭載。

(注4)フィードバック制御
ある動作結果をセンサ等で検出し、その結果とあるべき状態を比較、その差を再度制御出力として安定性や精度を得るための手段。本装置ではレーザ出力をセンサで検出し、常に設定した出力が得られるようにレーザ電源を制御している。



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